FS4001系(xì)列小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liú)量傳感(gǎn)器

産品(pin)時間：2025-12-07

簡(jian)要描述(shù)：

FS4001系列小(xiao)流量氣(qì)體質量(liang)流量傳(chuán)感器是(shì)專門爲(wei)各類🔅小(xiǎo)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guò)程控制(zhi)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(běn)公司自(zì)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuò)，适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)🏃🏻之可用(yong)于🔴各類(lei)管徑，成(chéng)本低、易(yi)安裝、不(bu)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(ke)替代容(rong)積式或(huo)壓🚩差式(shi)的傳統(tong)流量傳(chuán)感器。

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詳細(xi)介紹

産(chǎn)品簡介(jiè)：

FS4001系列小(xiao)流量氣(qi)體質量(liang)流量傳(chuán)感器 是(shi)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)♌的。這一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(ben)公司自(zi)主研發(fa)的微☀️機(ji)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuò)，适用于(yu)各類📐清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yòng)于各類(lei)管徑，成(chéng)本低、易(yì)安裝👣、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(lì)補🥵償，可(kě)替代容(róng)積式或(huo)🔆壓差式(shì)的傳統(tong)流量傳(chuan)感器。

産(chǎn)品特點(dian) ：

FS4001系(xì)列小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liú)量傳感(gǎn)器 靈敏(mǐn)度高,有(yǒu)小的始(shi)動流量(liang)傳感器(qi)芯片采(cai)用熱質(zhi)量流量(liang)計量,無(wú)需溫度(du)壓力補(bu)償,保證(zheng)了傳感(gǎn)器的高(gāo)精🔞度計(jì)❄️量在單(dān)個芯片(piàn)🏃🏻上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(ji)成,使傳(chuan)感器的(de)量程比(bi)大大提(tí)高傳感(gǎn)器的零(líng)點穩定(dìng)度高全(quán)量程高(gao)穩定性(xing)全量程(cheng)高精确(que)度和優(you)良的重(zhòng)複性低(dī)功✔️耗低(dī)壓損響(xiang)應時間(jian)快
主要(yào)參數：

性(xìng)能參數(shu)	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程(cheng)比	≥100:1
精度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零(líng)點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式(shi)	線性，RS232/模(mó)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大(da)工作壓(ya)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cun)儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shī)度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝(níng)露）
機械(xie)接口	可(kě)拆式軟(ruǎn)管接頭(tou)
校準方(fang)式	空氣(qi)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g