FS4001系(xi)列測量(liàng)氣體流(liu)量傳感(gǎn)器

産品(pin)時間：2025-12-07

簡(jiǎn)要描述(shu)：

FS4001系列測(ce)量氣體(ti)流量傳(chuan)感器是(shì)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qi)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuan)感器均(jun1)🤞采用❓本(běn)公司自(zì)🔴主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuo)🈲，适用于(yu)各類清(qīng)潔氣體(ti)。

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詳(xiang)細介紹(shao)

簡介：

FS4001系(xì)列測量(liàng)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器 是專門(men)爲各類(lèi)小流量(liang)氣體的(de)測量和(hé)過程控(kòng)制而✔️設(shè)計的。這(zhè)一系列(lie)傳感器(qì)均采用(yòng)本公司(sī)自主研(yán)發的微(wei)機電系(xì)統（ MEMS ）流量傳(chuan)感芯片(pian)來制作(zuo)。

産品(pǐn)特點：
- 傳感(gan)器靈敏(min)度高 , 有極(ji)小的始(shi)動流量(liang)
- 傳(chuan)感器芯(xin)片采用(yòng)熱質量(liang)流量計(ji)量 , 無需溫(wēn)度壓力(li)補償 , 保證(zheng)了傳
- 感器(qi)的高精(jīng)度計量(liàng)
- 在(zài)單個芯(xīn)片上實(shi)現了多(duō)傳感器(qi)集成 , 使傳(chuan)感器的(de)量程比(bi)大大提(ti)高
- 傳感器(qi)的零點(diǎn)穩定度(du)高
- 全量程(chéng)高穩定(dìng)性
- 全量程(cheng)高精确(què)度和優(you)良的重(zhong)複性
- 低功(gong)耗
- 低壓損(sǔn)
- 響(xiang)應時間(jian)快
主要參(cān)數：

性能(néng)參數

FS4001

通徑(jing)

大流量(liang)

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

精度

±(1.5+0.2FS)

重(zhòng)複性

0.25

%讀(dú)數

零點(dian)輸出飄(piao)移

±30

輸出(chu)飄移

±0.12

響(xiang)應時間(jiān)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

輸出(chu)方式

線(xian)性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc

大(da)流量壓(ya)損

350

300

0.5

MPa

工作溫(wen)度

工(gong)作濕度(dù)

<95%RH（無結冰(bing)、無凝露(lù)）

可拆(chāi)式軟管(guǎn)接頭

校(xiào)準方式(shi)

空氣（或(huò)其他氣(qi)體），20oC，101.325kPa

重量(liang)

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