氣(qì)體流量監測(cè)傳感器

産品簡介：

FS4001系(xì)列 氣體流量(liang)監測傳感器(qi) 是專門(mén)爲各類小流(liu)量氣體的測(ce)量和過程控(kòng)制而設計♌的(de)。這一系列傳(chuan)感器均采用(yong)本公司自主(zhǔ)研發的微機(jī)電系統♊（ MEMS ）流量傳感芯(xin)片來制作。

FS4001系(xì)列 氣體流量(liàng)監測傳感器(qì) 适用于(yu)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(jì)術使之可用(yòng)于各類管💰徑(jìng)，成本低、易安(an)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(cháng)，可替代容積(ji)式或壓差式(shi)的傳統流量(liàng)傳感器。

産品特(tè)點：
  - 傳感(gǎn)器靈敏度高(gao) , 有極小(xiǎo)的始動流量(liang)
  - 傳感器(qì)芯片采用熱(re)質量流量計(ji)量 , 無需(xu)溫度壓力補(bǔ)償 , 保證(zheng)了傳
  - 感(gan)器的高精度(du)計量
  - 在(zai)單個芯片上(shang)實現了多傳(chuan)感器集成 , 使傳感器(qì)的量程比大(da)大提高
  - 傳感器的零(ling)點穩定度高(gao)
  - 全量程(chéng)高穩定性
  - 全量程高(gao)精确度和優(you)良的重複性(xing)
  - 低功耗(hao)
  - 低壓損(sǔn)
  - 響應時(shi)間快

機(ji)械尺寸：

主要參(can)數：

性能參數(shu)	FS4001		單位
通 徑	1.0	1.8	mm
大(da)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比(bǐ)	>100：1
精 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零點輸(shū)出飄移	±30		mV
輸出(chū)飄移	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuán)	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線(xiàn)性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量壓損(sun)	350	300	pa
大工作壓力(lì)	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作(zuo)濕度	<95%RH（無結冰(bīng)、無凝露）
機械(xie)接口	可拆式(shi)軟管接頭
校(xiao)準方式	空氣(qì)（或其他氣體(ti)），20oC，101.325kPa
重量	15		g